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石墨制品在半導體市場發(fā)展趨勢怎么樣?
jcshimo   |   2022-08-05 09:11:41

1.石墨制品太陽能電池應用市場概述

多晶硅熱場加熱器

    應用于半導體和光伏行業(yè)的上述兩類石墨制品在幾年前主要是從國外進口(或由mainland China外資企業(yè)提供)。但由于中國石墨行業(yè)、半導體材料行業(yè)和電子工業(yè)設備行業(yè)的共同努力,中國生產的這兩類石墨配件(深圳市金詩科技有限公司)無論是制造技術還是應用技術都有了很大的進步,市場格局也發(fā)生了很大的變化。這也為中國石墨行業(yè)在這一領域開拓新的市場提供了新的機遇。但同時也應該看到,在我國大尺寸、高純度各向同性石墨市場快速增長的同時,我國在這方面的制造技術還有一些方面不能適應,技術與國外先進水平還有很大差距。石墨制品作為微電子和光伏產業(yè)重要的基礎裝備材料,需要我國持續(xù)的技術進步。加強與半導體產業(yè)和光伏電池硅制造業(yè)的合作,進一步投資發(fā)展其配套的高檔石墨制品是一項勢在必行的重要任務。

在生產多晶硅錠的設備中,許多部件是石墨材料。特別是高純石墨、鑄錠爐加熱器所用的加熱材料以及所用的高純碳氈絕緣材料,是目前多晶硅鑄錠設備不可缺少的重要支撐材料。

    由于鑄錠爐加熱器的加熱溫度很高(1600℃以上),要求其加熱材料不能與硅材料發(fā)生反應和污染硅材料,因此可以在真空和惰性氣氛下長期使用。滿足使用條件的加熱器有鎢、鉬、非金屬石墨等。鎢和鉬價格昂貴,加工困難,而石墨來源廣泛,可以加工成各種形狀。此外,石墨具有熱慣性小、升溫快、耐高溫、抗熱震性好、輻射面積大、加熱效率高、基本性能穩(wěn)定等特點。正因為如此,石墨已經成為鑄錠爐加熱器的首選加熱材料。鑄錠爐加熱器對隔熱材料有嚴格的要求。必須是耐高溫、低密度、低導熱、低蓄熱、隔熱效果好、低氣體釋放、重量輕、低膨脹系數的材料。因此,在眾多耐火隔熱材料中,高純碳氈是最理想的。

1.1應用市場發(fā)展和擴大的過程

    半導體的發(fā)展離不開石墨材料在半導體工業(yè)中的應用。在半導體工業(yè)中,高純石墨材料廣泛應用于直拉單晶爐的加熱系統(tǒng)中。也用作半導體硅片加工(包括區(qū)熔、外延、輪廓加工等)中的輔助工具和部件。);是半導體硅片多晶硅材料生產中的輔助工具和部件。電子工程用石墨制品,首先是實現其在半導體行業(yè)的應用。進入21世紀,光伏產業(yè)發(fā)展迅速,太陽能電池用多晶硅錠材料的產量和市場都有了突飛猛進的增長,這也為石墨制品在光伏產業(yè)領域提供了具有廣闊發(fā)展前景的新市場。太陽能電池硅片的重要原料多晶硅錠開始在其生產設備鑄錠爐中大量使用高純優(yōu)質石墨材料。

1.2石墨制品半導體應用市場概述

    直拉爐用石墨零件是一種易耗件,由各種高純石墨制成。如石墨坩堝等石墨部件采用高純細晶石墨;石墨加熱器采用高純各向同性石墨;隔熱罩和石墨罩采用高純度中顆粒結構的石墨。

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