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一、清洗前的招認(rèn)  
     1、石墨舟在運(yùn)用逾越100次時(shí)需求操作人員及時(shí)檢查鍍膜情況，出現(xiàn)鍍膜反常，需求進(jìn)行清洗招認(rèn)。硅片在石墨舟內(nèi)正常鍍膜的顏色是藍(lán)色，片內(nèi)出現(xiàn)非藍(lán)色、多種顏色或片與片間顏色差異較大，都是鍍膜反常，需求及時(shí)招認(rèn)反常原因。  
     2、由工藝人員對(duì)石墨舟的鍍膜情況進(jìn)行剖析后，確定石墨舟是否需求清洗以及卡點(diǎn)是否需求替換，將需清洗的石墨舟交由設(shè)備人員清洗。
     3、石墨舟損壞后，由出產(chǎn)人員取出石墨舟內(nèi)悉數(shù)的硅片，并運(yùn)用CDA（壓縮空氣）對(duì)石墨舟內(nèi)碎片進(jìn)行收拾，結(jié)束后設(shè)備人員將其抬入現(xiàn)已配好必定比例HF溶液的酸槽中進(jìn)行清洗。  
二、石墨舟的清洗
     1、翻開(kāi)酸槽排水閥，待廢酸排盡，用水槍對(duì)酸槽進(jìn)行沖刷。  
     2、關(guān)上閥門(mén)，將石墨舟放進(jìn)酸槽中，翻開(kāi)進(jìn)水閥門(mén)，往酸槽里放入純水直到水能夠吞沒(méi)石墨舟接連，關(guān)閉水閥。然后在酸槽加入HF酸（4瓶），把清洗機(jī)的窗戶(hù)關(guān)好，然后初步清洗（要在酸中浸泡6個(gè)小時(shí)左右）。清洗過(guò)程中戴好防酸堿手套，將石墨舟從酸槽中取出檢查是否清洗潔凈，假如到時(shí)刻還未洗潔凈，再繼續(xù)清洗，直到潔凈接連。  
     3、清洗潔凈之后，放入水槽，用水槍沖刷后關(guān)上排水閥，放水，以水沒(méi)過(guò)舟為準(zhǔn)， 漂洗一般需2個(gè)小時(shí)。  
     4、清洗結(jié)束后，將石墨舟從水槽中取出，用氣槍吹掉表面顯著的水珠。
     5、將石墨舟抬入專(zhuān)用烘箱，關(guān)上烘箱門(mén)鎖緊；翻開(kāi)電源開(kāi)關(guān)—風(fēng)機(jī)開(kāi)關(guān)—升溫開(kāi)關(guān)—報(bào)警開(kāi)關(guān)；溫控表設(shè)定溫度80度。石墨舟在烘箱烘干6—8小時(shí)（經(jīng)過(guò)查驗(yàn)石墨舟在烘箱烘干后與運(yùn)用前的石墨舟無(wú)差別方可取出）。  
     6、設(shè)定溫度20度，一般降溫半個(gè)小時(shí)烘箱里的石墨舟抵達(dá)常溫，能夠取出。  
     7、將石墨舟上的悉數(shù)螺母扭緊并檢查石墨舟悉數(shù)的陶瓷件，需求替換工藝點(diǎn)的石墨舟，取出后需求入修補(bǔ)間專(zhuān)用貨架等候修補(bǔ)。

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